| Stainless Steel 304 – Aluminium | Body Material |
| Pneumatic | Actuator |
| – | Voltage |
| Shatf-Seal | Sealing type |
| No | Pos.indicator |
| Viton | O-ring |
| 1E-7 mbar | Ultimate Pressure |
با توجه به دبی پایین این شیرها و همچنین ابعاد کوچک آنها ، عموما این شیر ها را در مسیر جریان گاز ورودی به محفظه خلا قرار می دهند. گاها برای ونت کردن محفظه یا وارد کردن گاز خاصی مثل نیتروژن در فرایند نیتروژن دهی استفاده می شوند.
برای کارکرد صحیح تر MFC ها یا شیر های سوزنی خلاء ، قبل و بعد از آن ها ، از شیر مستقیم خلاء سایز کوچک ( مینیاتوری ) استفاده می گردد. در فرایند هایی که تعداد زیادی شیر خلاء ( وکیوم ) در مسیر لوله کشی وجود دارد ، امکان استفاده از شیر های خلاء معمول وجود ندارد هم به لحاظ ابعادی و هم به لحاظ وزن شیر ها ، بنابراین شیر های مستقیم خلاء مینیاتوری بهتزین کزینه برای چنین سیستم هایی می باشد.
شیر های خلاء مستقیم مینیاتوری با مشضخات زیر تولید می گردد. برای انتخاب شیر مناسب میتوانید از جدول زیر کمک بگیرید.
| Order No | Body Material | Model | No |
| 15H11P16KF-U | SS304 | ISO-KF16 Miniature | 1 |
| 15H11P16KF | SS304 | ISO-KF16 | 2 |
| 15H10P16KF-U | Aluminium | ISO-KF16 Miniature | 3 |
| 15H10P16KF | Aluminium | ISO-KF16 | 4 |